Генераторы азота «АГС»

для производства электроники

Производитель установки задаёт требование по остаточному кислороду в зоне пайки, а не по чистоте газа на входе: на входе чистота берётся с запасом на подсос и разбавление. Поэтому первый вопрос инженера — что записано по кислороду в руководстве на вашу установку.

Кислород в микроэлектронике применяется в окислении и травлении, но там нужны особо чистые газы: это не задача адсорбционного генератора 93 ± 2 %, и спецгазы для литографии мы не производим. Наш профиль на вашем производстве — азот и осушенный сжатый воздух.

Перевод в единицы технолога: 99,99 % — это 100 ppm остаточных примесей, 99,999 % — 10 ppm, 99,9999 % — 1 ppm. Адсорбционная технология закрывает весь диапазон: предел КЦА по азоту — 99,9999 %, серийный ряд АВС имеет 12 градаций чистоты до 99,9995 %.

Дорогая ошибка в электронике — не лишняя девятка сама по себе, а одна станция на всех потребителей, настроенная по самому требовательному из них. Цена решения видна в двух цифрах. Расход воздуха: 5,3 нм³ на 1 нм³ азота при 99,9 % против 7,8 при 99,999 % — в полтора раза больший компрессор и такой же счёт за электроэнергию каждый месяц. Производительность: генератор АВС-20А выдаёт 20 нм³/ч при 99,5 % и 5,2 нм³/ч при 99,999 % — почти вчетверо меньше на том же оборудовании.

Поэтому потребителей разделяют: пайка и оплавление получают 99,99–99,999 %, шкафы сухого хранения и продувка — 99,9 %. Технически это либо несколько режимов чистоты в одной машине, либо две линии. Отдельный осушитель под шкафы хранения не нужен: точка росы азота на выходе генератора — −60 °C. Разбор «налога на девятки» — в статье «Как выбрать генератор азота».

• Серийные генераторы азота АВС — 12 градаций чистоты до 99,9995 %, несколько режимов в одной машине.
• Комплектные азотные станции — компрессор, осушитель, фильтры, ресиверы, генератор, обвязка.
• Адсорбционные осушители — линия осушенного воздуха для чистых помещений и КИПиА.

Некондиционный газ в линию не попадает: модуль набора концентрации отсекает выход на режим, который после остановки занимает от 10 до 90 минут в зависимости от заданной чистоты. Адсорберы рассчитаны на циклическую нагрузку: сталь 09Г2С, 100 % ультразвуковой контроль стыковых швов, ресурс 5 000 000 циклов.

Сроки — прозрачно: серийный генератор со склада — отгрузка от 14 дней при наличии; изготовление серийной модели — 14–60 дней; комплектная станция или блок-модуль — 110–120 дней; криогенная ВРУ и инжиниринговые проекты — по графику проекта.

Не только. Предел адсорбционной технологии по азоту — 99,9999 %, то есть 1 ppm примесей: в одном из проектов станция на 700 нм³/ч с содержанием водорода 1 ppm заменила криогенную схему на производстве микрочипов — заказчика и объект не называем.

Разница для вас не в чистоте, а в модели снабжения: жидкий азот — это цена кубометра с доставкой, потери при хранении и газификации и график поставщика; своя станция — одна внешняя переменная, тариф. Там, где по режиму нужны криогенные продукты, поставляем ВРУ от партнёров вместе с проектом, монтажом и сервисом; криогенное производство не заявляем.